纳米粒度仪-粒径分析仪-zeta电位仪-晶圆检测设备-大塚电子（苏州）有限公司

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纳米粒度仪、 粒径分析仪、 激光共聚焦显微镜、 zeta电位仪、 zeta电位分析仪、 白光干涉显微镜、 CMP研磨颗粒、 膜厚测量仪、 3D显微镜、 膜厚分析仪、 反射式膜厚仪、 膜厚检测仪、 晶圆检测设备、 偏光片检测、 光纤光谱仪、 在线膜厚仪、

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大塚电子（苏州）有限公司作为科学仪器提供商，提供包括纳米粒度仪，粒径分析仪，激光显微镜，zeta电位仪，zeta电位分析仪，白光干涉显微镜，CMP研磨颗粒，膜厚测量仪，3D显微镜，膜厚分析仪，反射式膜厚仪，膜厚检测仪，晶圆检测设备，偏光片检测，光纤光谱仪，在线膜厚仪、光谱仪、色谱仪等精密仪器。通过对材料进行化学、生命科学以及半导体和医药领域等，大塚电子打造出更胜一筹的客户导向型解决方案和服务。

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纳 米 粒 度 仪 粒 径 分 析 仪 z e t a 电 位 仪 晶 圆 检 测 设 备 大 塚 电 子 （ 苏 州 ） 有 限 公 司 日 本 語 & n b s p & n b s p & n b s p | & n b s p & n b s p & n b s p E n g l i s h 首 页 公 司 介 绍 产 品 信 息 展 会 · 讲 习 会 资 料 下 载 应 用 案 例 新 闻 资 讯 服 务 与 支 持 联 系 我 们 日 本 語 E n g l i s h P h o t o A r t i c l e D o w n l o a d C o m m u n i t y P h o t o A r t i c l e D o w n l o a d C o m m u n i t y 联 系 我 们 会 员 登 录 网 站 首 页 公 司 介 绍 公 司 简 介 业 务 内 容 企 业 理 念 关 联 企 业 大 塚 集 团 产 品 信 息 分 析 机 器 测 量 机 器 展 会 · 讲 习 会 展 会 一 览 讲 习 会 一 览 资 料 下 载 产 品 目 录 技 术 资 料 论 文 S D S 应 用 案 例 保 健 薄 膜 制 造 工 艺 L E D 制 造 工 序 半 导 体 制 造 工 序 住 宅 汽 车 环 境 能 源 食 品 新 闻 资 讯 公 司 新 闻 行 业 资 讯 服 务 与 支 持 定 期 点 检 、 校 正 修 理 、 移 设 部 品 、 消 耗 品 购 入 维 护 资 料 售 后 服 务 停 止 产 品 清 单 制 品 购 入 后 咨 询 P h o t o A r t i c l e D o w n l o a d C o m m u n i t y 产 品 信 息 分 析 机 器 / A n a l y s i s m a c h i n e 查 看 更 多 + Z E T A 电 位 · 粒 径 · 分 子 量 测 系 统 E L S Z 2 0 0 0 Z S Z E T A 电 位 · 粒 径 · 分 子 量 测 试 系 统 · E L S Z n e o 多 样 品 纳 米 粒 子 径 测 试 系 统 · n a n o S A Q L A 多 样 品 n a n o 粒 子 径 测 量 系 统 n a n o S A Q L A （ 带 自 动 取 样 器 A S 5 0 ） Z E T A 电 位 · 粒 径 · 分 子 量 测 系 统 E L S Z 2 0 0 0 Z S Z E T A 电 位 · 粒 径 测 试 系 统 · E L S Z n e o S E Z E T A 电 位 · 粒 径 · 分 子 量 测 试 系 统 · E L S Z n e o Z E T A 电 位 · 粒 径 · 分 子 量 测 试 系 统 · E L S Z n e o Z E T A 电 位 · 粒 径 测 试 系 统 · E L S E n e o S E Z E T A 电 位 · 粒 径 · 分 子 量 · E L S Z 2 0 0 0 Z S Z E T A 电 位 · 粒 径 · 分 子 量 测 系 统 E L S Z 2 0 0 0 Z 测 量 机 器 / M e a s u r i n g m a c h i n e 查 看 更 多 + 高 速 L E D 光 学 特 性 仪 L E s e r i e s 光 波 动 场 三 次 元 显 微 镜 分 光 配 光 测 量 系 统 G P s e r i e s M C P D s e r i e s 嵌 入 式 膜 厚 测 试 型 O P T M s e r i e s 嵌 入 型 相 位 差 测 量 装 置 R E T S 1 0 0 n x N e w 显 微 分 光 膜 厚 仪 O P T M s e r i e s 膜 厚 量 测 仪 F E 3 0 0 嵌 入 式 膜 厚 检 测 仪 线 扫 描 膜 厚 仪 【 在 线 型 】 分 光 干 涉 式 晶 圆 膜 厚 仪 S F 3 椭 偏 仪 F E 5 0 0 0 / 5 0 0 0 S 线 扫 描 膜 厚 仪 【 离 线 型 】 小 角 激 光 散 射 仪 P P 1 0 0 0 高 速 相 位 差 测 量 装 置 R E 2 0 0 M C P D s e r i e s 在 线 评 估 测 试 系 统 线 扫 描 膜 厚 仪 【 在 线 型 】 多 通 道 光 谱 仪 M C P D 9 8 0 0 / 6 8 0 0 彩 色 滤 光 片 、 彩 色 光 刻 胶 测 量 装 置 L C F S E R I E S L o a d P o r t 对 应 膜 厚 测 量 系 统 G S 3 0 0 液 晶 层 间 隙 量 测 设 备 R E T S s e r i e s 嵌 入 式 膜 厚 检 测 仪 显 微 分 光 膜 厚 仪 O P T M s e r i e s 液 晶 层 间 隙 量 测 设 备 R E T S s e r i e s O P T M s e r i e s 嵌 入 型 膜 厚 测 量 系 统 F E 3 7 0 0 / 5 7 0 0 彩 色 滤 光 片 、 彩 色 光 刻 胶 测 量 装 置 L C F S E R I E S 用 于 透 过 率 / 吸 光 度 测 量 的 多 通 道 光 谱 仪 M C P D s e r i e s 高 灵 敏 度 光 谱 仪 H S 1 0 0 0 总 光 谱 光 通 量 测 量 系 统 H M / F M s e r i e s 紫 外 分 光 辐 射 照 度 测 量 系 统 N e w 紫 外 分 光 全 光 谱 光 通 量 测 量 系 统 紫 外 分 光 配 光 测 量 系 统 分 光 辐 射 照 度 测 量 系 统 高 速 L E D 光 学 特 性 仪 L E s e r i e s 高 感 度 分 光 辐 射 亮 度 计 H S 1 0 0 0 量 子 效 率 测 量 系 统 Q E 2 1 0 0 高 灵 敏 度 近 红 外 量 子 效 率 测 量 系 统 Q E 5 0 0 0 N e w 产 品 分 类 c l a s s i f i c a t i o n 分 析 机 器 z e t a 电 位 粒 子 径 · 粒 子 径 分 布 分 子 量 测 量 机 器 膜 厚 · 厚 度 评 估 机 器 功 能 材 料 评 估 机 器 半 导 体 评 估 机 器 F P D 相 关 评 估 机 器 光 源 照 明 评 价 仪 器 荧 光 评 估 机 器 查 看 更 多 产 品 + 分 析 机 器 / A n a l y s i s m a c h i n e 查 看 更 多 + Z E T A 电 位 · 粒 径 · 分 子 量 测 系 统 E L S Z 2 0 0 0 Z S 特 点 使 用 了 最 新 型 高 感 度 A P D ， 感 度 提 升 及 缩 短 测 量 时 间 通 过 测 量 自 动 温 度 梯 度 空 间 ， 可 分 析 出 変 性 相 转 移 温 度 可 测 量 0 ～ 9 0 ℃ 大 范 围 内 的 温 度 追 加 了 大 范 围 的 分 子 量 测 量 及 解 析 功 能 . . . Z E T A 电 位 · 粒 径 · 分 子 量 测 试 系 统 · E L S Z n e o 【 E L S Z n e o 使 光 散 射 的 物 性 评 价 迈 向 新 舞 台 】 E L S Z n e o 是 E L S Z s e r i e s 的 最 高 级 机 型 ， 除 了 在 稀 薄 溶 液 ~ 浓 厚 溶 液 中 进 行 z e t a 电 位 （ Z e t a P o t e n t i a l ， ζ 电 位 ） 和 粒 径 测 定 之 外 ， 还 能 进 行 分 子 量 测 定 的 装 置 。 作 为 新 的 功 能 ， 为 了 提 高 粒 度 分 布 的 分 离 能 力 ， 采 用 了 多 角 度 测 定 。 另 外 ， 也 可 实 现 测 量 粒 子 浓 度 测 定 、 微 流 变 学 测 定 、 凝 胶 的 网 状 结 构 分 析 。 全 新 的 z e t a 电 位 平 板 固 体 样 品 池 ， 通 过 新 开 发 的 对 应 高 盐 浓 度 的 涂 层 ， 可 以 在 生 理 盐 水 等 高 盐 浓 度 环 境 下 进 行 测 量 。 3 μ L 就 能 测 定 粒 径 的 超 微 量 样 品 池 也 位 列 其 中 ， 从 而 扩 大 了 生 命 科 学 领 域 的 可 能 性 。 在 0 ~ 9 0 ℃ 的 宽 温 度 范 围 内 ， 可 以 进 行 自 动 温 度 梯 度 测 量 的 变 性 相 变 温 度 分 析 。 . . . 多 样 品 纳 米 粒 子 径 测 试 系 统 · n a n o S A Q L A ● n a n o S A Q L A 是 一 台 通 过 动 态 光 散 乱 法 （ D L S 法 ） 测 量 粒 径 （ 粒 径 0 . 6 n m ~ 1 0 u m ） 的 装 置 。 支 持 从 稀 薄 到 浓 厚 系 广 泛 浓 度 范 围 内 的 多 检 体 测 定 的 新 光 学 系 统 ， 实 现 了 实 验 室 必 需 的 轻 量 、 小 型 化 、 标 准 1 分 钟 的 高 速 测 定 。 另 外 ， 这 是 一 款 非 浸 泡 型 、 不 受 接 触 器 影 响 、 无 需 自 动 取 样 器 、 标 准 配 备 “ 5 检 体 连 续 测 量 ” 的 新 产 品 。 . . . 多 样 品 n a n o 粒 子 径 测 量 系 统 n a n o S A Q L A （ 带 自 动 取 样 器 A S 5 0 ） 产 品 信 息 特 点 n a n o S A Q L A 的 特 点 1 个 单 元 可 轻 松 连 续 测 量 5 个 样 品 实 现 了 在 没 有 自 动 进 样 器 的 情 况 下 难 以 实 现 的 多 个 样 品 的 连 续 测 量 ， 也 可 以 通 过 改 变 每 个 样 品 的 条 件 进 行 测 量 。 对 应 瘦 . . . Z E T A 电 位 · 粒 径 · 分 子 量 测 系 统 E L S Z 2 0 0 0 Z S 产 品 信 息 特 点 使 用 了 最 新 型 高 感 度 A P D ， 感 度 提 升 及 缩 短 测 量 时 间 通 过 测 量 自 动 温 度 梯 度 空 间 ， 可 分 析 出 変 性 相 转 移 温 度 可 测 量 0 ～ 9 0 ℃ 大 范 围 内 的 温 度 追 加 了 大 范 围 的 分 子 量 测 量 . . . Z E T A 电 位 · 粒 径 测 试 系 统 · E L S Z n e o S E 本 产 品 为 粒 径 及 z e t a 电 位 测 量 专 用 装 置 。 E L S Z n e o S E 选 择 了 E L S Z n e o 的 新 功 能 。 根 据 用 途 ， 可 以 根 据 需 要 定 制 任 意 数 量 的 必 要 功 能 。 . . . Z E T A 电 位 · 粒 径 · 分 子 量 测 试 系 统 · E L S Z n e o 【 E L S Z n e o 使 光 散 射 的 物 性 评 价 迈 向 新 舞 台 】 E L S Z n e o 是 E L S Z s e r i e s 的 最 高 级 机 型 ， 除 了 在 稀 薄 溶 液 ~ 浓 厚 溶 液 中 进 行 z e t a 电 位 （ Z e t a P o t e n t i a l ， ζ 电 位 ） 和 粒 径 测 定 之 外 ， 还 能 进 行 分 子 量 测 定 的 装 置 。 作 为 新 的 功 能 ， 为 了 提 高 粒 度 分 布 的 分 离 能 力 ， 采 用 了 多 角 度 测 定 。 另 外 ， 也 可 实 现 测 量 粒 子 浓 度 测 定 、 微 流 变 学 测 定 、 凝 胶 的 网 状 结 构 分 析 。 全 新 的 z e t a 电 位 平 板 固 体 样 品 池 ， 通 过 新 开 发 的 对 应 高 盐 浓 度 的 涂 层 ， 可 以 在 生 理 盐 水 等 高 盐 浓 度 环 境 下 进 行 测 量 。 3 μ L 就 能 测 定 粒 径 的 超 微 量 样 品 池 也 位 列 其 中 ， 从 而 扩 大 了 生 命 科 学 领 域 的 可 能 性 。 在 0 ~ 9 0 ℃ 的 宽 温 度 范 围 内 ， 可 以 进 行 自 动 温 度 梯 度 测 量 的 变 性 相 变 温 度 分 析 。 . . . Z E T A 电 位 · 粒 径 · 分 子 量 测 试 系 统 · E L S Z n e o 【 E L S Z n e o 使 光 散 射 的 物 性 评 价 迈 向 新 舞 台 】 E L S Z n e o 是 E L S Z s e r i e s 的 最 高 级 机 型 ， 除 了 在 稀 薄 溶 液 ~ 浓 厚 溶 液 中 进 行 z e t a 电 位 （ Z e t a P o t e n t i a l ， ζ 电 位 ） 和 粒 径 测 定 之 外 ， 还 能 进 行 分 子 量 测 定 的 装 置 。 作 为 新 的 功 能 ， 为 了 提 高 粒 度 分 布 的 分 离 能 力 ， 采 用 了 多 角 度 测 定 。 另 外 ， 也 可 实 现 测 量 粒 子 浓 度 测 定 、 微 流 变 学 测 定 、 凝 胶 的 网 状 结 构 分 析 。 全 新 的 z e t a 电 位 平 板 固 体 样 品 池 ， 通 过 新 开 发 的 对 应 高 盐 浓 度 的 涂 层 ， 可 以 在 生 理 盐 水 等 高 盐 浓 度 环 境 下 进 行 测 量 。 3 μ L 就 能 测 定 粒 径 的 超 微 量 样 品 池 也 位 列 其 中 ， 从 而 扩 大 了 生 命 科 学 领 域 的 可 能 性 。 在 0 ~ 9 0 ℃ 的 宽 温 度 范 围 内 ， 可 以 进 行 自 动 温 度 梯 度 测 量 的 变 性 相 变 温 度 分 析 。 . . . Z E T A 电 位 · 粒 径 测 试 系 统 · E L S E n e o S E 本 产 品 为 粒 径 及 z e t a 电 位 测 量 专 用 装 置 。 E L S Z n e o S E 选 择 了 E L S Z n e o 的 新 功 能 。 根 据 用 途 ， 可 以 根 据 需 要 定 制 任 意 数 量 的 必 要 功 能 等 . . . Z E T A 电 位 · 粒 径 · 分 子 量 · E L S Z 2 0 0 0 Z S ● 可 测 量 稀 薄 溶 液 ~ 浓 厚 溶 液 的 Z E T A 电 位 和 粒 径 ， 并 可 进 行 分 子 量 测 量 的 检 测 装 置 。 ● 适 用 于 粒 径 测 量 范 围 （ 0 . 6 n m ~ 1 0 u m ） , 浓 度 范 围 （ 0 . 0 0 0 0 1 % ~ 4 0 % ） 。 对 电 渗 透 流 进 行 实 测 ， 可 通 过 最 小 容 量 1 3 0 μ L 微 量 可 抛 式 样 品 池 实 现 . . . Z E T A 电 位 · 粒 径 · 分 子 量 测 系 统 E L S Z 2 0 0 0 Z 产 品 特 点 ： 使 用 了 最 新 型 高 感 度 A P D ， 感 度 提 升 及 缩 短 测 量 时 间 通 过 测 量 自 动 温 度 梯 度 空 间 ， 可 分 析 出 変 性 相 转 移 温 度 可 测 量 0 ～ 9 0 ℃ 大 范 围 内 的 温 度 追 加 了 大 范 围 的 分 子 量 测 量 等 . . . 测 量 机 器 / M e a s u r i n g m a c h i n e 查 看 更 多 + 高 速 L E D 光 学 特 性 仪 L E s e r i e s 产 品 信 息 特 点 与 产 线 的 控 制 信 号 同 步 通 过 光 纤 的 自 由 的 测 试 系 统 实 现 最 短 2 m s ～ 的 光 谱 测 量 （ L E 5 4 0 0 ） 同 以 往 的 产 品 相 比 ， 测 量 、 演 算 、 评 价 1 个 周 期 有 可 到 半 分 钟 以 下 的 高 速 机 型 测 量 . . . 光 波 动 场 三 次 元 显 微 镜 M I N U K 可 评 价 n ｍ 级 的 透 明 的 异 物 ・ 缺 陷 ， 一 次 拍 照 即 可 瞬 时 获 得 深 度 方 向 的 信 息 ， 可 非 破 坏 ・ 非 接 触 ・ 非 侵 入 的 进 行 测 量 。 且 无 需 对 焦 ， 可 在 任 意 的 面 进 行 高 速 扫 描 , 轻 松 决 定 测 量 位 置 。 分 光 配 光 测 量 系 统 G P s e r i e s 产 品 信 息 特 殊 长 度 支 持 长 达 2 4 0 0 毫 米 的 L E D 照 明 灯 具 的 光 分 布 测 量 还 支 持 有 机 E L 和 大 型 显 示 器 的 光 分 布 测 量 可 以 自 动 控 制 2 轴 测 角 仪 测 量 每 个 角 度 的 光 谱 分 布 ， 并 通 过 球 带 系 数 法 获 得 总 . . . M C P D s e r i e s 嵌 入 式 膜 厚 测 试 型 本 公 司 的 M C P D s e r i e s ， 由 于 采 用 柔 软 纤 维 的 事 ， 从 I n S i t u 到 内 联 各 种 各 样 的 地 方 和 用 途 的 编 入 成 为 可 能 。 测 量 原 理 为 分 光 干 涉 方 式 ， 在 实 现 高 测 量 再 现 性 的 同 时 ， 还 支 持 多 层 厚 度 测 量 。 通 过 采 用 独 自 算 法 ， 可 以 高 速 实 时 监 控 。 . . . O P T M s e r i e s 嵌 入 型 利 用 显 微 微 分 光 膜 厚 计 O P T M s e r i e s 的 高 精 度 、 微 小 光 点 ， 在 线 提 供 制 作 晶 片 图 案 后 的 微 小 区 域 测 量 等 膜 厚 信 息 。 . . . 相 位 差 测 量 装 置 R E T S 1 0 0 n x N e w 产 品 信 息 特 点 采 用 了 偏 光 光 学 系 和 多 通 道 分 光 检 出 器 有 可 对 应 各 种 尺 寸 的 装 置 ， 从 1 m m 大 小 的 光 学 素 子 到 第 1 0 代 的 大 型 基 板 安 全 对 策 和 粒 子 对 策 ， 可 对 应 液 晶 l i n e 内 的 检 查 设 备 测 量 项 目 . . . 显 微 分 光 膜 厚 仪 O P T M s e r i e s 测 量 项 目 ： [ 膜 厚 、 折 射 率 n 、 消 光 系 数 k ] . 测 量 原 理 ： [ 分 光 干 涉 法 ] . 测 量 对 象 ： [ 光 刻 胶 、 S i O 2 、 S i 3 N 4 等 ] . 测 量 范 围 ： [ 1 n m ~ 9 2 μ m ] . . . . 膜 厚 量 测 仪 F E 3 0 0 产 品 信 息 特 长 薄 膜 到 厚 膜 的 测 量 范 围 、 U V ~ N I R 光 谱 分 析 高 性 能 的 低 价 光 学 薄 膜 量 测 仪 藉 由 绝 对 反 射 率 光 谱 分 析 膜 厚 完 整 继 承 F E 3 0 0 0 高 端 机 种 9 0 % 的 强 大 功 能 无 复 杂 设 定 ， 操 作 简 单 ， 短 時 . . . 嵌 入 式 膜 厚 检 测 仪 产 品 信 息 特 点 采 用 分 光 干 涉 法 搭 载 高 精 度 F F T 膜 厚 解 析 系 统 （ 专 利 第 4 8 3 4 8 4 7 号 ） 使 用 光 学 光 纤 ， 可 灵 活 构 筑 测 量 系 统 可 嵌 入 至 各 种 制 造 设 备 。 实 时 测 量 膜 厚 可 对 应 远 程 操 作 、 多 点 测 量 . . . 线 扫 描 膜 厚 仪 【 在 线 型 】 采 用 线 扫 描 方 式 检 测 整 面 薄 膜 硬 件 软 件 均 为 创 新 设 计 作 为 专 业 膜 厚 测 定 厂 商 ， 提 供 多 种 支 援 实 现 高 精 度 测 量 （ 已 获 取 专 利 ） 实 现 高 速 测 量 不 受 偏 差 影 响 可 对 应 宽 幅 样 . . . 分 光 干 涉 式 晶 圆 膜 厚 仪 S F 3 即 时 检 测 W A F E R 基 板 于 研 磨 制 程 中 的 膜 厚 玻 璃 基 板 于 减 薄 制 程 中 的 厚 度 变 化 ( 强 酸 环 境 中 ) 产 品 特 色 非 接 触 式 、 非 破 坏 性 光 学 式 膜 厚 检 测 采 用 分 光 干 涉 法 实 现 高 度 检 测 再 现 性 可 进 行 高 速 . . . 椭 偏 仪 F E 5 0 0 0 / 5 0 0 0 S 产 品 信 息 特 点 可 在 紫 外 和 可 见 （ 2 5 0 至 8 0 0 n m ） 波 长 区 域 中 测 量 椭 圆 参 数 可 分 析 纳 米 级 多 层 薄 膜 的 厚 度 可 以 通 过 超 过 4 0 0 c h 的 多 通 道 光 谱 快 速 测 量 E l l i p s o 光 谱 通 过 可 变 反 射 角 测 量 ， 可 详 细 分 析 . . . 线 扫 描 膜 厚 仪 【 离 线 型 】 产 品 信 息 特 点 全 面 高 速 高 精 度 进 行 薄 膜 等 面 内 膜 厚 不 均 一 性 检 测 硬 件 软 件 均 为 创 新 设 计 作 为 专 业 膜 厚 测 定 厂 商 ， 提 供 多 种 支 援 实 现 高 精 度 测 量 （ 已 取 得 专 利 ） 实 现 高 速 测 量 （ 5 0 0 万 点 . . . 小 角 激 光 散 射 仪 P P 1 0 0 0 P P 1 0 0 0 小 角 激 光 散 射 仪 ， 利 用 小 角 激 光 散 射 法 （ S m a l l A n g l e L a s e r S c a t t e r i n g ， 简 称 S A L S ） ， 可 以 对 高 分 子 材 料 和 薄 膜 进 行 原 位 检 测 ， 实 时 解 析 。 与 S A X S 和 S A N S 的 装 置 相 比 ， 检 测 范 围 更 广 。 利 用 偏 光 H v 散 射 测 量 可 以 进 行 光 学 各 向 异 性 的 评 价 ， 解 析 结 晶 性 薄 膜 的 球 晶 半 径 ， 偏 光 V v 散 射 测 量 可 以 进 行 聚 合 物 混 合 的 相 关 距 离 的 分 析 。 . . . 高 速 相 位 差 测 量 装 置 R E 2 0 0 产 品 信 息 特 点 可 测 从 0 n m 开 始 的 低 （ 残 留 ） 相 位 差 光 轴 检 出 同 时 可 高 速 测 量 相 位 差 ( R e . ) （ 相 当 于 世 界 最 快 速 的 0 . 1 秒 以 下 来 处 理 ） 无 驱 动 部 ， 重 复 再 现 性 高 设 置 的 测 量 项 目 少 ， 测 量 简 单 . . . M C P D s e r i e s 在 线 评 估 测 试 系 统 本 公 司 的 M C P D s e r i e s 在 线 胶 卷 评 价 系 统 ， 由 于 光 学 式 非 接 触 · 非 破 坏 的 膜 厚 ， 浓 度 ， 颜 色 等 的 检 查 可 能 。 可 测 定 膜 厚 范 围 为 6 5 n m ～ 9 2 μ m 和 薄 膜 到 厚 膜 都 对 应 。 （ 折 射 率 1 . 5 时 ） 测 量 原 理 为 分 光 干 涉 方 式 ， 在 实 现 高 测 量 再 现 性 的 同 时 ， 还 支 持 多 层 厚 度 测 量 。 由 于 采 用 了 独 自 算 法 ， 可 以 高 速 实 时 监 控 ， 所 以 作 为 在 线 胶 片 监 控 ， 我 们 提 出 了 最 适 合 的 系 统 。 . . . 线 扫 描 膜 厚 仪 【 在 线 型 】 产 品 信 息 特 点 采 用 线 扫 描 方 式 检 测 整 面 薄 膜 硬 件 软 件 均 为 创 新 设 计 作 为 专 业 膜 厚 测 定 厂 商 ， 提 供 多 种 支 援 实 现 高 精 度 测 量 （ 已 获 取 专 利 ） 实 现 高 速 测 量 不 受 偏 差 影 响 可 对 应 宽 幅 样 . . . 多 通 道 光 谱 仪 M C P D 9 8 0 0 / 6 8 0 0 产 品 信 息 特 长 应 用 广 泛 的 测 量 仪 。 以 最 高 机 型 M C P D 9 8 0 0 为 首 ， 一 共 有 3 种 对 应 1 2 波 长 领 域 的 测 量 仪 。 我 们 可 以 根 据 客 户 的 需 求 和 用 途 提 出 最 适 合 的 方 案 。 不 同 评 价 方 法 对 应 不 同 设 备 ◎ . . . 彩 色 滤 光 片 、 彩 色 光 刻 胶 测 量 装 置 L C F S E R I E S 产 品 信 息 特 点 以 透 过 光 谱 测 量 、 色 测 量 为 代 表 ， 通 过 浓 度 测 量 、 膜 厚 测 量 、 反 射 光 谱 测 量 等 ， 可 对 应 彩 色 滤 光 片 制 造 工 程 中 的 所 有 检 查 的 装 置 可 用 于 彩 色 滤 光 片 的 光 学 特 性 或 玻 璃 基 板 . . . L o a d P o r t 对 应 膜 厚 测 量 系 统 G S 3 0 0 产 品 信 息 特 点 支 持 集 成 到 Φ 3 0 0 m m E F E M 单 元 的 备 用 端 口 实 现 嵌 入 在 晶 片 中 的 布 线 图 案 的 图 案 对 齐 支 持 半 导 体 工 艺 的 高 吞 吐 量 要 求 支 持 槽 口 对 齐 功 能 小 尺 寸 规 格 高 精 度 自 动 校 准 单 元 自 动 . . . 液 晶 层 间 隙 量 测 设 备 R E T S s e r i e s 产 品 信 息 特 点 采 用 了 偏 光 光 学 系 和 多 通 道 分 光 检 出 器 有 可 对 应 各 种 尺 寸 的 装 置 ， 从 1 m m 大 小 的 光 学 素 子 到 第 1 0 代 的 大 型 基 板 安 全 对 策 和 粒 子 对 策 ， 可 对 应 液 晶 l i n e 内 的 检 查 设 备 测 量 项 目 . . . 嵌 入 式 膜 厚 检 测 仪 产 品 信 息 特 点 采 用 分 光 干 涉 法 搭 载 高 精 度 F F T 膜 厚 解 析 系 统 （ 专 利 第 4 8 3 4 8 4 7 号 ） 使 用 光 学 光 纤 ， 可 灵 活 构 筑 测 量 系 统 可 嵌 入 至 各 种 制 造 设 备 。 实 时 测 量 膜 厚 可 对 应 远 程 操 作 、 多 点 测 量 . . . 显 微 分 光 膜 厚 仪 O P T M s e r i e s ● 非 接 触 · 非 破 坏 · 显 微 、 对 焦 、 测 量 1 秒 完 成 ● O P T M 系 列 显 微 分 光 膜 厚 仪 是 一 款 可 替 代 椭 偏 仪 ， 测 试 膜 厚 、 折 射 率 n 、 消 光 系 数 k 、 绝 对 反 射 率 的 新 型 高 精 度 、 高 性 价 比 的 分 光 膜 厚 仪 。 适 用 于 各 种 可 透 光 膜 层 的 测 试 ， 并 有 独 家 专 利 可 针 对 透 明 基 板 去 除 背 面 反 射 ， 从 而 达 到 “ 真 实 反 射 率 、 膜 厚 ” 测 试 的 目 的 。 此 外 ， 软 件 操 作 简 单 、 使 用 方 便 且 简 化 了 复 杂 的 建 模 流 程 。 . . . 液 晶 层 间 隙 量 测 设 备 R E T S s e r i e s 产 品 信 息 特 点 采 用 了 偏 光 光 学 系 和 多 通 道 分 光 检 出 器 有 可 对 应 各 种 尺 寸 的 装 置 ， 从 1 m m 大 小 的 光 学 素 子 到 第 1 0 代 的 大 型 基 板 安 全 对 策 和 粒 子 对 策 ， 可 对 应 液 晶 l i n e 内 的 检 查 设 备 测 量 项 目 . . . O P T M s e r i e s 嵌 入 型 利 用 显 微 微 分 光 膜 厚 计 O P T M s e r i e s 的 高 精 度 、 微 小 光 点 ， 在 线 提 供 制 作 晶 片 图 案 后 的 微 小 区 域 测 量 等 膜 厚 信 息 。 . . . 膜 厚 测 量 系 统 F E 3 7 0 0 / 5 7 0 0 产 品 信 息 特 殊 长 度 可 以 高 速 、 高 精 度 地 测 量 各 种 玻 璃 基 板 上 各 种 薄 膜 的 膜 厚 和 光 学 常 数 。 除 了 支 持 包 括 下 一 代 尺 寸 在 内 的 大 型 玻 璃 基 板 外 ， 它 还 支 持 L C D 、 T F T 和 有 机 E L 。 用 法 L C D I T O . . . 彩 色 滤 光 片 、 彩 色 光 刻 胶 测 量 装 置 L C F S E R I E S 产 品 信 息 特 点 以 透 过 光 谱 测 量 、 色 测 量 为 代 表 ， 通 过 浓 度 测 量 、 膜 厚 测 量 、 反 射 光 谱 测 量 等 ， 可 对 应 彩 色 滤 光 片 制 造 工 程 中 的 所 有 检 查 的 装 置 可 用 于 彩 色 滤 光 片 的 光 学 特 性 或 玻 璃 基 板 . . . 用 于 透 过 率 / 吸 光 度 测 量 的 多 通 道 光 谱 仪 M C P D s e r i e s 是 从 紫 外 到 近 红 外 领 域 对 应 的 多 功 能 多 通 道 分 光 检 测 器 。 最 短 5 m s 即 可 进 行 光 谱 测 量 。 标 准 装 置 的 光 纤 可 支 持 各 种 测 量 系 统 ， 而 无 需 确 定 样 品 种 类 。 以 显 微 分 光 、 光 源 发 光 、 透 射 、 反 射 测 定 为 首 ， 通 过 与 软 件 的 组 合 ， 也 可 以 对 应 物 体 颜 色 评 价 、 膜 厚 测 定 等 。 . . . 高 灵 敏 度 光 谱 仪 H S 1 0 0 0 特 点 ： 采 用 具 有 高 亮 度 和 色 度 精 度 的 光 谱 方 法 （ 衍 射 光 栅 ） ， 0 . 0 0 5 c d / m 2 的 超 低 亮 度 到 4 0 0 0 0 0 c d / m 2 的 高 亮 度 都 可 测 量 ， 对 应 C I E 推 荐 的 宽 波 长 范 围 （ 3 5 5 n m 至 8 3 5 n m ） 独 特 的 光 学 系 统 降 低 了 . . . 总 光 谱 光 通 量 测 量 系 统 H M / F M s e r i e s 产 品 信 息 特 点 可 处 理 高 达 2 4 0 0 m m 的 直 管 光 学 总 光 通 量 测 量 测 量 系 统 符 合 I E S N A 的 L M 7 9 和 L M 8 0 标 准 采 用 新 的 探 测 器 ， 可 以 进 行 广 动 态 范 围 的 测 量 测 量 部 分 的 尺 寸 （ 积 分 球 或 积 分 半 球 ） 从 2 5 0 毫 . . . 紫 外 分 光 辐 射 照 度 测 量 系 统 N e w 产 品 信 息 特 征 该 检 测 器 是 一 种 高 性 能 的 分 光 光 度 计 ， 在 光 源 测 量 、 反 射 / 透 射 测 量 、 过 程 测 量 等 方 面 取 得 了 多 项 成 果 。 覆 盖 从 紫 外 线 到 可 见 光 的 宽 波 长 范 围 带 软 件 的 样 品 照 明 电 源 . . . 紫 外 分 光 全 光 谱 光 通 量 测 量 系 统 产 品 信 息 特 征 具 有 高 灵 敏 度 检 测 器 的 宽 测 量 范 围 具 有 紫 外 线 自 吸 收 校 正 的 高 精 度 测 量 配 备 温 度 控 制 单 元 ， 可 从 1 1 0 C 进 行 温 度 控 制 涵 盖 从 紫 外 线 到 可 见 光 的 波 长 范 围 电 源 、 温 控 单 元 、 . . . 紫 外 分 光 配 光 测 量 系 统 产 品 信 息 特 征 通 过 分 光 光 度 分 布 对 紫 外 光 进 行 高 精 度 测 量 从 配 光 上 评 估 紫 外 光 的 最 大 发 光 强 度 、 光 束 开 度 、 光 束 光 通 量 涵 盖 从 紫 外 线 到 可 见 光 的 波 长 范 围 支 持 从 L E D 芯 片 到 模 块 和 应 用 . . . 分 光 辐 射 照 度 测 量 系 统 产 品 信 息 特 殊 长 度 该 检 测 器 是 一 种 高 性 能 的 分 光 光 度 计 ， 在 光 源 测 量 、 反 射 / 透 射 测 量 、 过 程 测 量 等 方 面 取 得 了 多 项 成 果 。 覆 盖 从 紫 外 线 到 可 见 光 和 可 见 光 到 红 外 线 的 宽 波 长 范 围 . . . 高 速 L E D 光 学 特 性 仪 L E s e r i e s 产 品 信 息 特 点 与 产 线 的 控 制 信 号 同 步 通 过 光 纤 的 自 由 的 测 试 系 统 实 现 最 短 2 m s ～ 的 光 谱 测 量 （ L E 5 4 0 0 ） 同 以 往 的 产 品 相 比 ， 测 量 ? 演 算 ? 评 价 1 个 周 期 有 可 到 半 分 钟 以 下 的 高 速 机 型 测 量 . . 高 感 度 分 光 辐 射 亮 度 计 H S 1 0 0 0 特 点 ： 采 用 具 有 高 亮 度 和 色 度 精 度 的 光 谱 方 法 （ 衍 射 光 栅 ） ， 0 . 0 0 5 c d / m 2 的 超 低 亮 度 到 4 0 0 0 0 0 c d / m 2 的 高 亮 度 都 可 测 量 ， 对 应 C I E 推 荐 的 宽 波 长 范 围 （ 3 5 5 n m 至 8 3 5 n m ） 独 特 的 光 学 系 统 降 低 了 . . . 量 子 效 率 测 量 系 统 Q E 2 1 0 0 产 品 信 息 特 点 测 量 精 度 高 可 瞬 间 测 量 绝 对 量 子 效 率 （ 绝 对 量 子 收 率 ） 可 去 除 再 激 励 荧 光 发 光 采 用 了 积 分 半 球 u n i t ， 实 现 了 明 亮 的 光 学 系 采 用 了 低 迷 光 多 通 道 分 光 检 出 器 ， 大 大 减 少 了 . . . 高 灵 敏 度 近 红 外 量 子 效 率 测 量 系 统 Q E 5 0 0 0 N e w 产 品 信 息 特 殊 长 度 可 以 测 量 0 . 0 1 % 或 更 低 的 单 线 态 氧 的 产 生 量 子 产 率 。 单 线 态 氧 ( 1 2 7 0 n m ) 的 简 单 直 接 光 谱 观 察 可 在 用 于 生 物 应 用 等 的 水 性 溶 剂 中 测 量 。 传 统 方 法 难 以 在 轻 溶 剂 中 进 行 测 量 . . . 新 闻 资 讯 公 司 新 闻 行 业 资 讯 纳 米 粒 度 仪 的 基 本 操 作 & 故 障 排 除 苏 州 线 上 讲 习 会 （ 2 0 2 4 1 0 2 3 ） 无 法 测 试 出 预 想 的 结 果 ， 测 试 数 据 波 动 这 么 大 ？ 是 设 置 环 境 的 不 当 ？ 运 用 方 法 不 对 ？ 还 是 测 试 条 件 设 置 有 误 ？ 如 果 您 也 有 同 样 的 困 惑 ， 请 记 得 务 必 参 加 我 司 的 网 络 学 习 会 。 纳 米 粒 度 仪 的 基 本 操 作 & 故 障 排 除 苏 州 线 上 讲 习 会 （ 2 0 2 4 1 0 2 3 ） 无 法 测 试 出 预 想 的 结 果 ， 测 试 数 据 波 动 这 么 大 ？ 是 设 置 环 境 的 不 当 ？ 运 用 方 法 不 对 ？ 还 是 测 试 条 件 设 置 有 误 ？ 如 果 您 也 有 同 样 的 困 惑 ， 请 记 得 务 必 参 加 我 司 的 网 络 学 习 会 。 晶 圆 和 研 磨 液 静 电 相 互 作 用 的 评 价 方 法 和 半 导 体 制 程 技 术 介 绍 （ 2 0 2 4 0 7 2 4 ） 大 塚 电 子 （ 苏 州 ） 有 限 公 司 主 要 销 售 用 于 光 学 特 性 评 价 ・ 检 查 的 装 置 . 其 产 品 包 括 ： 纳 米 粒 度 仪 , 薄 膜 厚 度 测 厚 仪 , 非 接 触 薄 膜 测 厚 仪 , 湿 膜 测 厚 仪 , 激 光 粒 度 仪 , 激 光 粒 度 分 析 仪 , 激 光 粒 度 测 定 仪 , 纳 米 粒 度 仪 , 粒 度 分 析 仪 . 是 z e t a 电 位 测 定 仪 厂 家 , 点 击 了 解 价 格 和 报 价 . . . 偏 光 片 相 位 差 · 吸 收 轴 测 试 原 理 及 应 用 案 例 苏 州 线 上 讲 习 会 （ 2 0 2 4 5 2 2 ） 大 塚 电 子 （ 苏 州 ） 有 限 公 司 主 要 销 售 用 于 光 学 特 性 评 价 ・ 检 查 的 装 置 . 其 产 品 包 括 ： 纳 米 粒 度 仪 , 薄 膜 厚 度 测 厚 仪 , 非 接 触 薄 膜 测 厚 仪 , 湿 膜 测 厚 仪 , 激 光 粒 度 仪 , 激 光 粒 度 分 析 仪 , 激 光 粒 度 测 定 仪 , 纳 米 粒 度 仪 , 粒 度 分 析 仪 . 是 z e t a 电 位 测 定 仪 厂 家 , 点 击 了 解 价 格 和 报 价 . . . 晶 圆 检 测 设 备 及 检 测 方 法 包 括 光 学 显 微 镜 和 电 子 显 微 镜 等 。 光 学 显 微 镜 可 用 于 观 察 晶 圆 表 面 的 形 貌 、 缺 陷 等 ， 如 划 痕 、 颗 粒 污 染 等 ， 操 作 简 单 、 成 本 较 低 ， 但 分 辨 率 相 对 有 限 。 晶 圆 检 测 设 备 及 检 测 方 法 包 括 光 学 显 微 镜 和 电 子 显 微 镜 等 。 光 学 显 微 镜 可 用 于 观 察 晶 圆 表 面 的 形 貌 、 缺 陷 等 ， 如 划 痕 、 颗 粒 污 染 等 ， 操 作 简 单 、 成 本 较 低 ， 但 分 辨 率 相 对 有 限 。 如 何 使 用 纳 米 粒 度 仪 实 现 分 子 量 测 试 纳 米 粒 度 仪 主 要 是 用 于 测 量 颗 粒 的 粒 径 及 粒 度 分 布 等 参 数 ， 通 常 不 能 直 接 用 于 分 子 量 测 试 。 动 态 光 散 射 的 纳 米 科 技 应 用 — — 详 解 Z e t a 电 位 的 原 理 、 测 量 及 影 响 因 素 Z e t a 电 位 （ ζ 电 位 ） 是 指 剪 切 面 （ s h e a r p l a n e ） 的 电 位 ， 是 表 征 胶 体 分 散 系 稳 定 性 的 重 要 指 标 。 分 散 粒 子 表 面 带 有 电 荷 会 吸 引 周 围 的 反 号 离 子 ， 这 些 反 号 离 子 在 两 相 界 面 呈 扩 散 状 态 分 布 形 成 扩 散 双 电 层 ， 根 据 s t e r n 双 电 层 理 论 可 将 双 电 层 分 为 两 部 分 ： s t e r n 层 和 扩 散 层 。 公 司 介 绍 大 塚 电 子 ( 苏 州 ) 有 限 公 司 我 们 公 司 大 塚 电 子 （ 苏 州 ） 为 使 用 “ 光 ” 技 术 开 发 的 测 量 仪 器 、 分 析 仪 器 提 供 从 销 售 到 售 后 的 全 面 服 务 支 持 。 就 像 母 公 司 大 塚 制 药 集 团 旗 下 的 大 塚 电 子 （ 日 本 ） 一 样 ， 大 塚 电 子 （ 苏 州 ） 也 将 “ 多 样 性 ” ， “ 创 新 性 ” 和 “ 全 球 化 ” 作 为 基 本 方 针 , 通 过 创 新 和 具 有 创 造 性 的 产 品 和 服 务 ， 为 全 世 界 人 民 的 生 活 做 出 贡 献 。 + m o r e C U S T O M 客 户 案 例 抖 音 官 方 关 注 咨 询 热 线 0 5 1 2 6 2 5 8 9 9 1 9 网 站 首 页 公 司 介 绍 产 品 信 息 展 会 · 讲 习 会 资 料 下 载 应 用 案 例 新 闻 资 讯 服 务 与 支 持 公 司 介 绍 公 司 简 介 业 务 内 容 企 业 理 念 关 联 企 业 大 塚 集 团 产 品 信 息 分 析 机 器 测 量 机 器 应 用 案 例 保 健 薄 膜 制 造 工 艺 L E D 制 造 工 序 半 导 体 制 造 工 序 住 宅 汽 车 新 闻 资 讯 公 司 新 闻 行 业 资 讯 联 系 我 们 邮 箱 ： o e s @ c n . o t s u k a . c o m ‬ 电 话 ： 0 5 1 2 6 2 5 8 9 9 1 9 传 真 ： 0 5 1 2 6 2 5 8 9 9 1 9 地 址 ： 苏 州 工 业 园 区 苏 州 大 道 西 2 号 国 际 大 厦 1 1 0 1 1 1 0 5 室 技 术 支 持 ： C o p y r i g h t © 2 0 2 1 2 0 2 5 大 塚 电 子 有 限 公 司 A l l r i g h t s r e s e r v e d . 　 备 案 号 ： 苏 I C P 备 1 3 0 2 8 8 7 4 号 1 L I N K S 大 塚 製 藥 大 塚 電 子 韓 國 大 塚 大 塚 科 技 0 5 1 2 6 2 5 8 9 9 1 9 抖 音 官 方 关 注

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